PHO-SC-4 激光驅(qū)動(dòng)等離子體寬譜光源采用光致發(fā)光，將高能激光匯聚到燈室中，加熱氙等離子體至足夠高溫時(shí)發(fā)出高亮光。

發(fā)射光諾覆蓋深紫外到近紅外(170-2500nm)，尤其在DUV波段的亮度是傳統(tǒng)光源如氙燈的10倍以上。發(fā)光壽命可達(dá)10000小時(shí)，且穩(wěn)定性得到了極大的提高。

PHO-SC-4 激光驅(qū)動(dòng)等離子體寬譜光源特點(diǎn)：

·超寬連續(xù)光譜范圍

覆蓋170-2500nm波段

·長壽命

激光維持高溫等離子體，電極沒有磨損，燈泡的壽命達(dá)到1萬小時(shí)

·高穩(wěn)定的光輸出

輸出光功率極其穩(wěn)定，確保測量的可靠性和可重復(fù)性

·高輻射照度

極小發(fā)光點(diǎn)，高功率密度，易耦合、平行性高

應(yīng)用領(lǐng)域：

*制造

半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測、半導(dǎo)體晶圓量測

科學(xué)儀器

航空航天光譜遙感分析、海洋油氣光譜遙測、光諧儀器分析研究

材料表征

光伏材料、化合物半導(dǎo)體器件開發(fā)

生物醫(yī)學(xué)

圓二色光譜、 熒光病理、內(nèi)窺鏡成像、OCT、光動(dòng)力療法